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SERVICIO DE MICRO Y NANOFABRICACIÓN

TARIFAS (por hora y sin IVA)

Nanofabricación directa por Haz de Iones (FIB)	90 €
Litografía de alta resolución por Haz de Electrones (EBL)	50 €
Fotolitografía	30 €
Ataque seco por Haz de Iones Reactivos (RIBE)	45 €
Ataque seco en Plasma Reactivo (RIE)	35 €
Ataque seco por Pulverización con iones de Argón (IM)	45 €
Ataque húmedo en medios ácidos y básicos	10 €
Deposición de dieléctricos por PECVD	30 €
Deposición de metales	30 €
Caracterización topográfica por SEM y/o AFM	40 €
Ingeniero de proceso	40 €
Operario	20 €

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